摘　要：薄膜應(yīng)力普遍存在于薄膜元器件中,從而影響薄膜器件性能,限制了其良好的應(yīng)用前景.所以控制薄膜的應(yīng)力,消除其不良影響,是薄膜生產(chǎn)工藝中不可或缺的技術(shù)手段.本文對(duì)此詳細(xì)闡述了幾種常用的薄膜應(yīng)力控制方法,并對(duì)以后研究工作的開(kāi)展提出幾點(diǎn)要求.

　　關(guān)鍵詞：薄膜;應(yīng)力;控制技術(shù)

　　分類號(hào)：O484.2　文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A

　　文章編號(hào)：1672-7126(2008)增刊-017-05

Stress Release and Control of Thin Films materials Used in Devices Fabrication

Jiang Zhao　 Chen Xuekang

　　蔣釗,聯(lián)系人:Tel:13893225634;E-mail:qqq-128@163.com

　　作者單位：蔣釗(蘭州物理研究所,表面工程技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,蘭州,730000)

　　陳學(xué)康(蘭州物理研究所,表面工程技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,蘭州,730000)

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