真空镀膜机精抽太慢的几个原因

2015-10-15 真空技术网 真空技术网整理

　　真空镀膜机精抽太慢主要从以下几个方面进行原因查找：

　　一、扩散泵可能不太给力。

　　解决办法：可以用电离规单接到扩散泵泵口，看扩散泵单抽能达到多少，要看抽的时间和极限，然后进行对比。

　　二、真空系统有微漏。

　　解决办法：这就需要慢慢检漏，看看保真空时间能不能达不达标。

　　三、箱体太脏，太脏放气量就大了。

　　解决办法：清洗箱体

　　四、前级真空度不行，机械泵或机械泵加罗茨泵的极限真空不行。

　　解决办法：可以用电阻规单独检测前级管道。