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濺射氣壓對磁控濺射成膜性能的影響
濺射氣壓( 工作氣壓)是一個很重要的參數, 它對濺射速率, 沉積速率以及薄膜的質量都有很大的影響。實驗得知濺射氣壓超過0.55Pa 后, 結合力和焊接合格率隨著氣壓增大而迅速下降。因此, 認為0.5 Pa 左右的濺射氣壓是比
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