“真空技术装备国家工程实验室”建设项目于2008年11月28日得到国家发改委正式批准，是目前我国真空领域唯一的国家工程实验室。该项目建设期为两年，项目法人单位是中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司，共建单位是北京中科科仪技术发展有限责任公司，合作单位是中国科学技术大学和东北大学。项目法人单位与共建单位、合作单位此前已有多年的合作基础，有利于该项目开展。

　　工程实验室的主要功能是：为以洁净真空技术为基础的先进真空技术装备发展提供共性技术创新的中间实验验证平台；成为实现应用基础研究与产业化有机衔接的桥梁和纽带。建立工程实验室，将在国家层面上构建真空技术装备的技术创新和技术支撑体系，为集成电路、生物医药、高性能材料、重大科学装置等重点产业发展提供支撑和服务，并为真空产业发展提供具有自主知识产权的长期的技术保障，满足我国真空产业的长期发展以及国家战略需求。

　　工程实验室的主要任务是：通过建立超高真空、低噪声、低污染的洁净真空技术平台（包括真空获得技术与应用实验平台、真空应用实验与验证平台、真空密封技术与应用实验平台3个专用子平台和1个公共平台），解决洁净真空获得、洁净真空部件制备、洁净真空密封等关键共性技术，满足重点产业需求，使我国在真空领域有能力参与国际竞争。通过真空应用技术的突破，推进高端真空应用设备水平跨越2—3代。

 　　工程实验室实行理事会领导下的实验室主任负责制，首届理事会理事单位包括：辽宁省发改委、沈阳市发改委、中科院计划财务局、中科院高技术局、中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司、北京中科科仪技术发展有限责任公司、中国科技大学、东北大学、沈阳真空技术所、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限公司。

　　工程实验室下设运营管理部、知识产权办公室、标准化办公室以及项目组。实验室拥有一支实力雄厚、结构合理、具有国际影响的研究队伍。项目将实施创新、开放、共赢的产学研长效合作机制，加快突破重点产业发展的瓶颈制约。