组成电真空器件的金属零件在机加等过程中表面要沾污到一些油污，如果零件没有得到有效的去油清洗，带有残留污染物的零件装配到高真空环境中，可能成为大量气体和蒸气的来源，影响器件的真空度和使用寿命。结合零件表面油污种类、特性，对两种去油方法进行对比：通过洁净度测试、真空热处理和XPS 表面残留分析测试结果，说明含活性剂成分的水基清洗液对表面沾污皂化油和非皂化油类的零件清洗效果好，安全无残留，适合高要求的电真空金属零件的去油清洗。

　　电真空电子器件通常称为电子管,它是电子装备的关键器件，它的性能和质量的优劣对电子装备的性能和质量常起至关重要的决定作用，电真空器件是由陶瓷- 金属封接及金属与金属焊装而成，而组成电真空器件的金属零件要经过加工、处理、运转等过程，表面要沾污到一些油污，如果零件没有得到有效清洗，带有残留污染物零件装配到高真空环境中，可能成为大量气体和蒸气的来源，这种意外的气体和蒸气来源将使管内原有气体的纯度变差，以致无法获得预期的特性，从而影响器件的真空度和使用寿命。零件能否得到有效清洗与去油工艺密切相关，因此真空技术网(www.chvacum.com)认为有效的清洗工艺在电真空器件的生产中是非常重要的。但用于电真空行业零件的清洗与一般行业的清洗不同，不仅要使清洗后的零件达到一定的洁净度(油污尽可能地被去除)，还要求清洗剂成分尽可能地少残留零件表面上。

　　目前金属零件的去油方法很多，以表面活性剂为主体的水基清洗成为金属清洗行业的主要发展方向，各行业中使用的水基清洗剂成分很复杂，主要含有表面活性剂、助洗剂、缓蚀剂、助溶剂、消泡剂、乳化剂等各种成分，而市售的水基清洗剂成分含量不稳定，不适合有特殊要求的电真空器件的清洗，因此自行研究、确定和固化清洗去油方法或工艺对于有特殊要求的电真空行业是很重要的。

1、零件表面的油污金属零件去油方法

　　电真空用金属零部件表面油污种类及去油方法

　　http://www.jnannai.com/engineering/042994.html

2、对去油效果的评价

　　电真空用金属零件的不同去油方法的效果评价

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3、结论

　　研究结果表面，使用带有表面活性剂的化学碱液去油方法，零件去油后的洁净度达到Sandia中子管生产线清洗的水平———10°左右，零件表面比较洁净，同时零件表面无残留成分，该方法是有效、安全的。要提高零件表面的洁净度水平，合适的去油工艺非常重要，后续的热处理无法将零件残留的油污分解，此外去油前零件表面的油污成分要维持稳定，这样去油工艺才能固化，去油后产品的质量才能稳定。

参考文献

　　[1] 李培昌.电镀手册[M].北京：国防工业出版社，1997.

　　[2] 傅献彩，沈文霞. [M]. 物理化学，北京：高等教育出版社,1961.

　　[3] 魏竹波,周继维, 姚瑶, 等. 金属清洗技术[M]. 北京：化学工业出版社，2003.