正压漏孔校准装置实验研究及性能测试
定容法校准正压漏孔全程测量结果
用一只CGF-Ⅰ型超高真空可变流导微调阀代替正压漏孔作为漏率的调节阀门。这种微调阀调节漏率方便，调节后阀门的流导稳定，可以提供非常稳定的漏率。
用微调阀调节漏率，用定容法对漏率进行测量。根据实测结果，定容法的测量范围为100~5×10 -3PaL/s。
定容法的测量下限
定容法测量下限主要受到测量时间过长引起的温度变化的影响。微小的温度变化将会引起定容室中的压力变化，还会使电容薄膜规的零点漂移而引起压力测量的误差。温度变化引起压力变化而产生了虚流量，限制定容法测量下限的主要原因。
在实际的测量中，虚流量应小于漏孔漏率的10%，由此来确定定容法的测量下限。根据实验测试结果，在定容室中充入一个大气压的压力，关闭正压漏孔出口端阀门，用差压规测量定容室中的压力变化值△p，经过1000s时间，由于温度变化而引起定容室中的压力变化产生的虚流量大约在7×10 -4~2×10-4PaL/s范围内，则定容法的测量下限应为5×10 -3PaL/s。
在绝压法测量中，用133kPa的电容薄规测量较小的压力变化，以及温度变化引起压力变化，使漏率测量的不确定度较大。
在差压法测量中，用133Pa 的差压式电容薄膜规测量，由于定容室与参考室同时存在由温度变化而都引起了压力的变化，只要定容室和参考室的温度变化方向相同，由温度变化引起的压力变化可以相互抵消一部分，使得由温度变化引起的压力变化减小，延伸了漏率测量下限，减小了测量不确定度。
在10 -3 PaL/s, 的量程内校准正压漏孔时，在漏率值中应减去由于温度变化而引起的压力变化产生的虚流量，可减小漏率测量下限的不确定度。
定量气体动态比较法的全量程测量
在全量程校准实验中，由于没有合适的漏孔，采取配制不同气体量的标准气体，模拟不同漏率的漏孔累积气体量进行全量程校准实验。在3~30PaL 内，选取了4点，测量了不同气体量对应的离子流和离子流与气体量的比值，如表1所示。
表1 定量气体动态比较法全量程实验
由表1 可知，实验中所用的四极质谱计在离子流为1×10 -12~1×10-11 范围内具有较好的线性。在此范围内，如果扣除空气氦本底影响，离子流与气体量之比的平均值为3.5×10 -13 A/PaL。
两种校准方法之间的比较实验
定容法测量的是全压力，定量气体动态比较法测量的是分压力，由于两种方法的原理不同，将产生一定的测量偏差。在10 -3 PaL/s漏率范围内对两种方法进行了比对实验。
将微调阀调到适当流量，用定容法和定量气体动态比较法分别测量漏率，每种方法重复测量6次。定量气体动态比较法实验的平均漏率为5.35×10 -3,不确定度为4.98%；定容法实验的平均漏率为5.63×10 -3 PaL/s,，不确定度为2.87%。两种方法的测量偏差为5.2%，具有较好的一致性。
测量结果
根据实验测量结果，定容法的校准范围是1×10 2~5×10 -3PaL/s,定量气体动态比较法的校准范围是2×10 -2~ 5×10 -5PaL/s,。在重叠的量程范围内，两种方法具有较好的一致性。
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