高頻火花檢漏器的工作原理和檢漏應(yīng)用

2008-09-24 admin 真空技術(shù)培訓(xùn)講座

高頻火花檢漏器是個高頻高壓對地放電器件,可以用于真空檢漏。

    (1)工作原理與結(jié)構(gòu)

    圖9示出一種電容,電感串聯(lián)諧振式高頻火花檢漏器的原理圖。接通K,當(dāng)接觸器CD閉合時,電流流經(jīng)L1、CD,電流很大,L1產(chǎn)生足夠大的電磁力吸引CD斷開,于是形成L1、C、L2的回路。由于阻抗增加,電流減小導(dǎo)致電磁力下降。從而使CD重新閉合。如此反復(fù),在L2上施加高頻脈沖電壓,因此高壓線圈L3便感應(yīng)出高頻高壓脈沖電壓。而L3的一端對地放電產(chǎn)生高頻火花擊穿現(xiàn)象。這就是高頻火花檢漏器的工作原理。

高頻火花檢漏器的工作原理圖

圖9:高頻火花檢漏器的工作原理圖

    (2)玻璃真空系統(tǒng)的檢漏

    將高頻火花檢漏器的放電簧F沿著已抽空的玻璃系統(tǒng)外表面慢慢移動,沒有漏孔時放電火花束呈雜亂分散狀態(tài),當(dāng)遇到漏孔時火花束集中成一條細(xì)束,且指向系統(tǒng)上亮點(diǎn)(漏孔內(nèi)空氣電離率遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于玻璃的結(jié)果),該亮點(diǎn)就是漏孔的位置。