真空檢漏
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氦質(zhì)譜檢漏靈敏度分析方法
要充分發(fā)揮檢漏儀的能力,以求得盡可能高的檢漏靈敏度,必須對輔助真空系統(tǒng)進行合理設計。檢漏靈敏度的高低是衡量檢漏結(jié)果精確與否的重要指標之一。
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氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理與結(jié)構(gòu)和性能試驗方法
本文講敘了單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀、雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀以及逆流氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。靈敏度、反應時間、清除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標。
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真空系統(tǒng)的漏氣和透氣圖示及原因
真空系統(tǒng)都有某種程度的漏氣問題,氣體透過固體的現(xiàn)象被成為透氣。漏氣的主要原因是材料本身的缺陷,另一種是封口部不良。還有一種情況是溫度變化發(fā)生漏氣。
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如何有效的降低真空系統(tǒng)漏氣率的措施
在真空系統(tǒng)的設計中,提高系統(tǒng)的密封性,降低系統(tǒng)的漏氣率是我們一直追求的目標,經(jīng)過對真空室內(nèi)部結(jié)構(gòu)、密封形式、密封件材質(zhì)、靜密封結(jié)構(gòu)等方面的精心選擇與設計,提高了真空系統(tǒng)的密封性能,加快了抽氣速度,縮短
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利用靜態(tài)膨脹法真空裝置和質(zhì)譜計校準標準漏孔
本文介紹了利用靜態(tài)膨脹法真空裝置和殘余氣體四極質(zhì)譜計校準標準漏孔的方法,通過實驗驗證了該方法的可行性,并給出了該裝置測量范圍(10-5~10-7)Pa.m3/s,裝置的最佳校準能力小于3.0%(k=2)。
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幾種常用標準漏孔的結(jié)構(gòu)圖
標準漏孔是在一定條件下向真空系統(tǒng)內(nèi)部提供已知氣體流量的元件。常用的標準漏孔有:玻璃毛細管型標準漏孔、金屬壓扁型標準漏孔、玻璃鉑絲型標準漏孔、薄膜滲氦型標準漏孔。
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各種充壓檢漏法和最小可檢漏率
真空檢漏就是用適當?shù)姆椒,迅速判斷漏氣、確定漏率是否在容許的范圍之內(nèi),找出漏孔的位置、測定漏率大小,以便進行修補下面就充壓檢漏法的條件、現(xiàn)象、所用設備及其靈敏度進行了介紹。
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高頻火花檢漏器的工作原理和檢漏應用
高頻火花檢漏器是個高頻高壓對地放電器件,可以用于真空檢漏。利用高壓線圈感應出高頻高壓脈沖電壓對地放電產(chǎn)生高頻火花擊穿現(xiàn)象。這就是高頻火花檢漏器的工作原理。
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鹵素檢漏儀的工作原理和性能測試方法
用含有鹵素(氟、氯、溴、碘)的氣體為示漏氣體的檢漏儀器稱為鹵素檢漏儀,鹵素檢漏儀主要有固定式鹵素檢漏儀和便攜式鹵素檢漏儀。本文介紹了鹵素檢漏儀的工作原理與結(jié)構(gòu)及性能測試方法。
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漏孔、漏率及其表征單位和氣流特性
真空技術中所指的漏孔,由于尺寸微小、形狀復雜、形式多樣,無法用幾何尺寸表示其大小。所以一般用等效流導或漏氣速率表示漏孔的大小。系統(tǒng)的最大容許漏率要滿足要求才能正常使用。
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