Edwards新型大容量渦輪分子真空泵最大化提升性能

尖端技術(shù)改進(jìn)氣體流動(dòng)能力和高溫管理，以防止粉末沉淀

　　英國(guó)西薩克斯郡克勞雷(2014年2月13日)-- Edwards有限公司(Edwards Limited)是一家全球領(lǐng)先的真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相關(guān)增值服務(wù)提供商，該公司今天推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產(chǎn)品旨在為半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池板制造商節(jié)省更多成本。

　　Edwards公司 TMP產(chǎn)品營(yíng)銷經(jīng)理Shinichi Yoshino 表示：“新型STP-iXA4506渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards最新的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)和成熟且高度可靠的iXA系列機(jī)載控制器，使容許通過(guò)的氣量最大化，從而使高流量過(guò)程所需的渦輪泵數(shù)量減至最小，尤其是在太陽(yáng)能和平板應(yīng)用中。泵集成的控制器免去了對(duì)線纜和獨(dú)立控制器機(jī)架的需求，因而也節(jié)省了成本，體積緊湊易于在各種應(yīng)用中快速安裝。此外，就像我們所有的磁浮式渦輪泵一樣，無(wú)需機(jī)械軸承的特性幾乎免除了定期維護(hù)的成本。”

　　這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量(高達(dá)4300 sccm N2)結(jié)合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506非常適用于許多不同的大流量、高流動(dòng)性應(yīng)用，包括半導(dǎo)體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽(yáng)能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設(shè)計(jì)包括一個(gè)完全密封的電子模組，以在最嚴(yán)苛的工廠環(huán)境中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健、可靠的操作。需要時(shí)還可增加一套加熱系統(tǒng)，以減少來(lái)自工藝過(guò)程中副產(chǎn)物的沉積物和微粒的堆積。

關(guān)于Edwards

　　Edwards是一家全球領(lǐng)先的真空設(shè)備、尾氣處理系統(tǒng)和相關(guān)增值服務(wù)的開(kāi)發(fā)商和制造商。其產(chǎn)品和服務(wù)在半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池的制造流程中不可或缺;被應(yīng)用于日益多樣化的工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程，包括電力、玻璃和其他鍍膜應(yīng)用、鋼鐵和其他冶金工業(yè)、制藥和化學(xué)工業(yè)，并用于科學(xué)儀器和多種研發(fā)應(yīng)用。

　　Edwards在全球約20個(gè)國(guó)家擁有 3,200多名全職雇員和500名臨時(shí)雇員，從事于高科技真空和廢氣管理設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造和支持。

　　要了解有關(guān)Edwards的更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)公司網(wǎng)站www.edwardsvacuum.com。