從圖3可見，鈦升華泵的結構大致可分為三部分：吸氣面、熱絲(或升華器)和控制器。鈦升華泵的工作過程是由控制器通電給升華器(或熱絲)，使鈦加熱到足夠高的溫度(1100oC)直接升華。升華出來的鈦沉積在用水或液氮冷卻的表面上，形成新鮮的鈦膜層。鈦在升化和沉積的過程中，與活性氣體結合成穩(wěn)定的化合物(固相的TiO或TiN)，結果將空間的氣體分子抽除了。

　　鈦升華泵抽除的氣體分子吸附在鈦膜上，吸附機理是比較復雜的.通常認為是物理吸附和化學吸附綜合作用的結果，以化學吸附為主。

圖3：鈦升華泵的工作原理

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