(1) 氦气压缩机润滑油的泄漏故障现象：

       氦气压缩机内部有润滑油泄漏故障分析和排除: 氦气压缩机由机械部件组成, 为了保证运转的正常需要对运动部件进行润滑油润滑。润滑油会与从低温泵中回来的氦气混合后进入压缩机的泵体。通过泵体压缩后, 出来的是高温高压带有润滑油的氦气。通常压缩机漏油分两种情况: 第一种是压缩机经过多年的连续运转后, 密封件老化, 造成泄漏。第二种是由压缩机的安全阀引起的。在压缩机的管路中装有一个黄色铜制安全阀, 当压缩机内部的压力超过一定数值时, 安全阀被推开, 高压的润滑油与氦气的混合物喷出, 造成漏油。

        因此, 压缩机的润滑油泄漏分为密封件老化泄漏和安全阀打开泄漏。这两种情况都是不能完全避免的。而低温泵系统通常是放在洁净室内,不可以有任何泄漏污染工作环境。所以通常建议将低温泵和压缩机分开放置, 即将压缩机放置到洁净室的外面, 以防万一。

(2) 氦气压缩机的氦气泄漏：

        故障现象: 在压缩机经过长期运转后, 压缩机内的氦气压力会有所降低。故障分析和排除: 这可能是由于两种原因造成的。第一、在每次拆装氦气管路时, 会损失一定的氦气。氦气管路的接头为自密封型, 理论上每次拆装只会有2 毫升的氦气损耗。但实际操作时, 有时会听到漏气的声音, 此时就有可能泄漏较多的氦气。这种情况只需补充氦气即可。第二、氦气系统泄漏。氦气系统的泄漏会造成氦气的压力持续降低, 最终会影响低温泵的抽气性能。这时需要使用带有嗅探器( Sniffer) 的氦气检漏仪对整个低温泵系统进行测漏。排除漏点后, 对压缩机补充氦气。

      因此, 为了避免氦气的泄漏, 通常尽量避免对氦气管路进行频繁拆装。在氦气压缩机运转多年后, 应对密封件进行更换, 特别是各电磁阀处的密封垫圈。