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推薦集成電路制造中低溫泵的應用及產品發展現狀

本文介紹了國內集成電路制造中進口低溫泵產品的技術發展現狀，并對比了不同產品的技術特點。闡述了國產低溫泵進軍集成電路制造業的歷程與現狀。

  • 氦氣壓縮機的泄漏對低溫泵抽氣性能的影響

    氦氣壓縮機潤滑油的泄漏和氦氣壓縮機的氦氣泄漏會導致低溫泵氦氣的壓力持續降低, 最終會影響低溫泵的抽氣性能。

  • 吸附捕集器(吸附阱)的技術特點

    吸附捕集器(吸附阱)是利用某些物質具有吸附性能（物理吸附和化學吸附）的原理來捕集可凝性蒸汽的一種捕集器。常用的吸附劑有：分子篩（沸石），活性碳，硅膠，Al2O3，P2O5等。 本文給出了常見的吸附阱的結構原理圖。

  • 冷凝捕集器(冷阱)的抽速計算公式

    冷凝捕集器(冷阱)對蒸氣分子的抽速類似于低溫泵的抽速，是指在捕集器中的蒸氣壓強下，單位時間內凝結在冷卻壁上的蒸氣體積。本文介紹了冷阱的抽速計算方法與公式。

  • 冷凝捕集器(冷阱)的作用和典型結構

    冷阱是利用低溫冷壁來捕集可凝性蒸氣的一種低溫冷凝捕集器，冷阱的結構型式很多，就材質而言，有金屬冷阱和玻璃冷阱兩類。

  • 機械捕集器的設計原則及其典型結構

    機械捕集器阻擋住直線運動的蒸氣分子穿越，使其在壁板上凝結或反射回去，用這種機械阻擋的方法消除或減少蒸氣分子進入被抽容器，靠機械阻擋的方法來降低油蒸氣的返油率。

  • 擋油帽的作用與主要參數計算

    擋油帽一般設置在擴散泵泵芯的一級噴咀上面，這樣可以大大降低油蒸氣的返流。但擋油帽降低了返油率，同時也降低了泵的抽速。因此擋油帽的設計就相當重要。