螺旋干式真空泵,是根據(jù)螺桿式壓縮機(jī)的工作原理作成的。最近開發(fā)的這種泵共有兩種結(jié)構(gòu)。

① 螺桿式真空泵((Lysholm型)

        在螺桿式壓縮機(jī)中,螺旋轉(zhuǎn)子的螺旋圈數(shù)在一圈以內(nèi),而螺桿真空泵的圈數(shù)如圖6所示那樣在2圈以上, 這樣可減少返流量, 提高壓縮比, 單級泵可從大氣壓抽到1Pa的極限壓力,抽速為60～ 120m³/h,有市售產(chǎn)品。

圖6　螺桿泵的抽氣原理

② 矩形螺旋式真空泵

         如圖7 所示, 有矩形斷面的右螺旋和左螺旋的一對轉(zhuǎn)子相嚙合, 由同步齒輪帶動實(shí)現(xiàn)非接觸式的高速運(yùn)轉(zhuǎn), 氣體由上側(cè)進(jìn)入, 在泵腔內(nèi)壓縮由

圖7　矩型螺旋式真空泵

          轉(zhuǎn)子下端排除,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周排氣一次。轉(zhuǎn)子和泵體內(nèi)表面形成一種螺旋密封結(jié)構(gòu), 矩形斷面間隙泄漏較少,故可得到較高的壓縮比, 泵的壓縮比和抽速與轉(zhuǎn)子的螺旋導(dǎo)角,轉(zhuǎn)子與泵體的間隙,螺旋的嚙合率,螺旋圈數(shù),轉(zhuǎn)子直徑和旋轉(zhuǎn)速度等因素有關(guān)。由于它的螺旋圈數(shù)多, 比上述的螺桿式干泵的壓縮比高, 而抽速低, 這種泵可從大氣壓抽到極限壓力10^-1Pa,抽速為40～80m³/h的泵有市售。