在抽气过程中，尘埃飞扬主要发生在刚开始抽除大气的高压力范围内，为此我们可以从真空系统的结构和操作方面采取措施防止和减少尘埃的产生。

         从抽气机组泵的配置考虑，目前能够抽大气的大抽速真空泵主要有往复泵、水环泵、旋片泵和滑阀泵，其中能直接在尘埃条件下工作的只有水环泵，因此在有尘埃系统中用水环泵预抽大气是比较好的方法。真空机组的配置可以是: 水环泵+ 罗茨泵+ 滑阀泵，其结构简图如图32（a）所示。在多机组的应用场合，甚至可以考虑共用一台大抽速水环泵。

（b）用可调孔板或阀门控制系统起动时抽速

1. 被抽容器 2. 过滤器 3. 罗茨泵 4. 滑阀泵 5. 水环泵 V1～V4.阀门 V5．可调阀门

图32 含尘真空系统结构简图

         从操作来说，在抽大气时适当减小系统抽速有利于防止尘埃的飞扬，例如图32（b）所示的系统结构，在被抽空间与泵之间设置可调阀门或可调孔板等以限制抽速。控制起始抽速，随着系统压力的下降，逐步打开阀门或孔板以增加抽速，这种方法简便有效。但降低起始抽速会延长抽气时间，可根据被抽容器的容积、真空泵的抽速及起始抽速下降的程度，一般会延长数分至数十分钟。在对抽气时间略有延长可以允许的应用场合，这是一种较好的操作方法。