立式和臥式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
2020-05-03 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理
1、臥式渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
臥式渦輪分子泵特點(diǎn)是其轉(zhuǎn)子主軸水平布置。這種結(jié)構(gòu)的分子泵是雙軸流的，吸氣口在兩組抽氣單元的中央，氣體吸入后，分別被左右兩側(cè)的葉列組合抽走。軸承分別裝在各抽氣單元的排氣側(cè)，見圖 22 。
圖22：臥式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)示意圖
這種型式泵的特點(diǎn)是抽氣時轉(zhuǎn)子受力均勻，軸承定位、受力狀態(tài)好，使用壽命長，且軸承更換過程中，轉(zhuǎn)子位置不動，維修方便。
2、立式渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
立式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)如圖 23 所示。
圖23：立式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)示意圖
其轉(zhuǎn)子軸垂直安裝，只有一組抽氣組合葉列。轉(zhuǎn)子葉輪高速旋轉(zhuǎn)時，被抽氣體沿著轉(zhuǎn)子組和定子組自高真空端向低真空端壓縮，被驅(qū)向前級，由前級泵抽走。泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動機(jī)等組成。現(xiàn)代渦輪分子泵轉(zhuǎn)子和定子之間的間隙較大，通常在 lmm 左右，因此泵工作時很安全。立式泵的裝配工藝要比臥式泵簡單，所以立式泵發(fā)展很快。
軸承潤滑方式有油脂潤滑、油繩潤滑和離心供油潤滑等方式。分子泵軸承潤滑油的性能必須具備以下三個條件，才能滿足泵的工作要求：
a、高速下具備良好的潤滑性能；
b、飽和蒸氣壓低于前級泵工作液的飽和蒸氣壓；
c、粘度適當(dāng)，使之兼有軸承冷卻液的作用。
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