1、极限真空不高及其排除：

　　(1)油位太低，不能对排气阀起油封作用，旋去加油螺塞后有较大排气声，并有油雾，证明油位太低，加油即可排除。
　　(2)油为可凝性蒸汽污染而引起之真空度下降，可开气镇净化或换新油。
　　(3)泵口外接管道、容器、测试仪表管道接头等漏气，大漏时，旋去加油螺塞有大的排气声，并有气和油雾排出，应找漏，消除之。
　　(4)吸气管或气镇阀橡胶件装配不当，损坏或老化应调整或更换。
　　(5)油孔堵塞，真空度下降，可放油拆下油箱，松开油嘴压板，拔出进油嘴，疏通油孔，尽量不要用纱头擦零件。
　　(6)真空系统有严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。
　　(7)旋片弹簧折断，应予调新。
　　(8)旋片、定子或衬套磨损，应予检查，修整或调换。
　　(9)泵温过高，这不但使油粘度下降，饱和蒸气压升高，还可能造成泵油裂解。应改善通风冷却，降低环境温度。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内，环境温度高，应尽量采用较好的高速真空泵油或3#扩散泵油。
　　(10)由于零件的变形磨损或移动使止回阀头的最大开启高度降低甚至不能开启，进油过少而使真空度降低，应调整，详见装配部分。

2、真空泵喷油

　　检查油位是否过高，油气分离器有无泵油或杂物，挡油板位置是否正确、牢固、吸气口、气镇阀的垫好，减雾器是否装好。

3、漏油

　　查看放油螺塞、油标、油箱垫片是否损坏或装配不当，有机玻璃有无过热变形，应调整更换或降低油温。
　　泵与支座的连接螺钉未垫好，未拧紧，油封装配不当或磨损，也会漏油，但不会污染场地，不严重的可继续使用，严重的应更换油封、垫圈或调整装配。

4、噪声过大

　　可因旋片弹簧折断，进油量增大，轴承磨损，零件损坏而有所增大，应检查，调整或更换。旋片活动不畅也会引起噪声增大，环境温度高，旋片热膨胀，旋片厚度与转子配合过紧时应把旋片改薄，厚度间隙可为0.09-0.14mm。

5、返油

　　止回阀未关好，停泵后油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查，止回阀头老化变形松动，调换之。
　　二泵盖内油封装配不当或磨损或老化松动，调换之。
　　泵盖或定子平面不平整，修整。

6、泵油发黑，油温较高，可因油封外圆松动。与转子发生摩擦引起，应及时更换油封，以免损坏旋片，油封外径应予测量，宜选大一点的（φ30＋0.25/0.15，φ40＋0.30/0.20）。