罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于1944年首先出现于德国，是为适应在 10 ～ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵使用。

根据罗茨真空泵工作压力范围的不同，分为

　　1、低真空罗茨泵：直排大气的干式单级罗茨泵(10000Pa)和湿式罗茨泵(2000Pa)；

　　2、中真空罗茨泵：机械增压泵(1×10^-1 Pa)；

　　3、高真空罗茨泵：多级干式罗茨泵(高真空多级罗茨泵；

　　国内用量最多的为中真空罗茨泵 (以下简称罗茨泵) 。

罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点：

　　1、在较宽的压力范围内有较大的抽速;

　　2、转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速;

　　3、泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染;

　　4、泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;

　　5、压缩比较低，对氢气抽气效果差;

　　6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。

罗茨泵在真空工程领域中应用

　　1、在中真空范围作为机械增压泵应用，一般与前级泵(旋片泵，滑阀泵和水环泵等)串联构成真空机组；

　　2、双级或多级罗茨泵机组可获得高真空；

　　3、对于干式清洁无油的抽气系统多用气冷式罗茨泵机组；

　　4、对于含水蒸气的被抽系统，多用湿式罗茨泵；