羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)與工作原理
羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)簡圖如下圖所示。在泵腔內(nèi),有二個"8"字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙,可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。
由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。
羅茨泵的工作原理
羅茨泵抽氣時兩個轉(zhuǎn)子由傳動比為1的一對齒輪帶動,作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。轉(zhuǎn)子彼此無接觸,其間存在間隙。
羅茨泵的抽氣特點
在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;
轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵腔壁之間有間隙,泵腔內(nèi)運動件無摩擦,不必潤滑,泵腔內(nèi)無油;
轉(zhuǎn)子形狀對稱,動平衡性能良好,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),選擇高精度的齒輪傳動,運轉(zhuǎn)時噪音低;可獲得較高轉(zhuǎn)速(抽速);
羅茨泵在抽氣過程中其工作空間容積是不變的,即“無內(nèi)壓縮”,這與大多數(shù)的變?nèi)菔秸婵毡貌煌?/p>
氣體的排出:當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,封閉空間與排氣側(cè)相通時,由于排氣側(cè)氣體壓力較高,則有一部分高壓氣體返沖到封閉空間中,使空間內(nèi)氣體壓強突然升高到排氣壓力,即所謂的“外壓縮過程”。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時,氣體排出泵外。