分子泵
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渦輪分子泵特性及磁懸浮技術(shù)的應(yīng)用
介紹了渦輪分子泵的工作原理與基本結(jié)構(gòu)特征,重點(diǎn)闡述了牽引式、渦輪式與復(fù)合式三種分子泵的結(jié)構(gòu)、材料與性能特征,最后給出了基于磁懸浮技術(shù)的高轉(zhuǎn)速渦輪分子泵承載力計(jì)算方法。
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分子泵機(jī)組控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
激光束在到達(dá)濾波器小孔位置時(shí)會發(fā)生空氣擊穿,因此管道內(nèi)必須達(dá)到一定的高真空,通過對選用的分子泵機(jī)組內(nèi)部控制電路的研究分析,設(shè)計(jì)了一套控制方案,很好地滿足了空間濾波器特定的使用要求。
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采用流量計(jì)測量復(fù)合分子泵抽速裝置研制
本工作研制了一臺采用流量計(jì)測量復(fù)合分子泵抽速的裝置。本裝置由測試臺車、機(jī)柜、計(jì)算機(jī)自動控制和數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)三部分組成。
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磁懸浮分子泵的振動抑制
磁懸浮分子泵中存在復(fù)雜的振動模態(tài), 影響了系統(tǒng)的穩(wěn)定性,針 對這些模態(tài)的特性, 精心設(shè)計(jì)控制器, 可以保證高速下系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
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分子泵性能測試的工程誤差探析
本文討論用升壓法測量渦輪分子泵壓縮比時(shí)實(shí)測計(jì)算值與真實(shí)值之間客觀存在的差異,分析用滴管流量計(jì)法測量分子泵抽速時(shí)可能產(chǎn)生的直接或間接的誤差。
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牽引分子泵的的結(jié)構(gòu)原理
通常把用高速運(yùn)動的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運(yùn)動的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象,按照這原理設(shè)計(jì)的分子泵稱為牽引分子泵。
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如何選擇和使用渦輪分子泵
本文介紹了渦輪分子泵的工作原理,結(jié)構(gòu)型式及其優(yōu)缺點(diǎn)。對用戶正確選擇和使用渦輪分子泵有油系統(tǒng)獲得清潔真空,有一定的參考價(jià)值。
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渦輪分子泵參數(shù)化設(shè)計(jì)軟件
對幾種參數(shù)化設(shè)計(jì)方法進(jìn)行了比較, 根據(jù)渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn), 開發(fā)了簡便實(shí)用的渦輪分子泵參數(shù)化設(shè)計(jì)軟件。
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分子泵葉輪裝配過盈量設(shè)計(jì)與應(yīng)力分析
動葉輪作為分子泵的關(guān)鍵部件,與芯軸過盈裝配,要求在高速狀態(tài)下仍保持一定的過盈量。本文計(jì)算了動葉輪在高速轉(zhuǎn)動時(shí)的徑向變形、過盈裝配時(shí)的初始應(yīng)力狀態(tài)和轉(zhuǎn)動時(shí)應(yīng)力狀態(tài)。
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