擴散泵抽氣系統(tǒng)的前級泵可用羅茨泵-旋片泵組合，羅茨泵-滑閥泵組合，單獨用旋片泵或羅茨泵等幾種形式。油擴散泵抽氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，壽命長，價格便宜，是目前使用范圍最廣的一種真空獲得設(shè)備。

　　根據(jù)被抽容器的容積可以粗略檢查擴散泵機組選用的是否合理，一般可按表1中所示進(jìn)行粗選。

表1 擴散機械泵真空機組對應(yīng)被抽容積

　　擴散泵抽氣系統(tǒng)可以適當(dāng)?shù)匮b備一些傳感器，當(dāng)萬一出現(xiàn)操作失誤或系統(tǒng)有漏孔、冷卻不善及擴散泵泵液不足時，這些傳感器可發(fā)出信號將系統(tǒng)關(guān)掉或使系統(tǒng)處于安全狀態(tài)。真空系統(tǒng)中的氣動閥和電磁閥應(yīng)能在設(shè)備發(fā)生故障時立即動作，使系統(tǒng)處于安全狀態(tài)下。在壓縮空氣或電源發(fā)生故障時，要關(guān)閉除粗抽泵的放氣閥以外的所有閥門。粗抽泵放氣閥則應(yīng)打開，以防止機械泵油返流進(jìn)入粗抽管道。在擴散泵冷卻水管的出口（而不是入口）處可裝一流量計。借助于流量計的信號，系統(tǒng)控制器就可切斷擴散泵的電源，并關(guān)閉高真空閥和前級管道閥。在擴散泵冷卻水管的入口處采用一個水過濾器以防積垢堵塞水管，并可免除過早的檢修。可用裝在擴散泵泵殼外面的恒溫開關(guān)和裝在鍋爐上的熱敏開關(guān)來檢測泵壁和泵油的工作溫度，還可以對泵工作液的液面進(jìn)行監(jiān)測。熱偶規(guī)或皮拉尼規(guī)控制器上的設(shè)定值是在真空室出現(xiàn)漏孔時給出自動控制器信號的，以便由它來關(guān)閉高真空閥，并在前級出現(xiàn)過高的前級壓力時斷開擴散泵電源。許多液氮裝置裝有低液面報警的傳感器，當(dāng)致冷劑耗盡時關(guān)閉高真空閥門。

　　由于擴散泵沒有運轉(zhuǎn)部件，故維修較簡單。一般泵使用500h后應(yīng)當(dāng)換一次新油。換油時則同時進(jìn)行維修，維修也就是徹底清洗泵芯，泵體，清除油鍋上的結(jié)垢，用壓縮空氣吹去冷卻水管中的銹。加熱器如果是一般的裸式電爐，則用500h后就要更換一次，如果是封閉式加熱器則壽命可大大延長，不必定期更換直到用壞再換。

　　擴散泵一般采用KSl～KS3號擴散泵油，正常使用約半年換一次油。為降低返油率可采用274～275號硅油，正常工況下，約使用2～3年換一次油。擴散泵裝配與調(diào)整正確與否，會直接影響泵的性能。泵裝配前各零件要清洗好并保持清潔。裝配前零件必須徹底烘干，裝配時不應(yīng)用手直接摸泵芯，泵芯裝配必須正確，不得向任何一邊偏斜，裝配后要測量噴嘴與泵壁之間的間距。加油時要事先在外邊測量好油量，不要邊倒邊看深度，以保證油量符合規(guī)定。

　　裝配好要測量擴散泵的極限真空度是否達(dá)到泵原指標(biāo)，測量方法按有關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行，達(dá)到泵原真空度指標(biāo)時才能交付使用。