為滿足航天器熱試驗常用真空計及標準漏孔的校準需要，研制了多功能真空校準裝置。該裝置可用于進行熱偶真空計、壓阻規(guī)、電容薄膜真空規(guī)、潘寧規(guī)、熱陰極電離規(guī)等真空測量傳感器的校準，同時也可以用于滲透型真空漏孔的校準。裝置選用靜態(tài)比對法、動態(tài)比對法、質譜比對法設計建成，真空校準范圍為1.33×10⁵ Pa～1×10^-4 Pa，真空漏孔校準范圍為5×10^-5～5×10^-9 Pa·m³/s，裝置智能化水平高，操作簡便，適合真空規(guī)管的批量校準。

　　隨著我國空間科學技術的發(fā)展，真空測量技術也得到長足進步，已廣泛應用在航空航天、電氣電子、石油化工等行業(yè)。特別是我國載人飛船、登月工程、火星探測等一系列國防新領域的飛速發(fā)展，對真空測量提出了更高的要求，相應的高精度、高可靠性的真空計量校準需求也應運而生。

　　傳統(tǒng)的實驗室真空校準裝置大多系統(tǒng)設計復雜，研制費用高，校準耗時長，無法滿足航天器研制任務的需要。本文研制了一套多功能真空校準裝置，該裝置選用靜態(tài)比對法、動態(tài)比對法以及質譜比對法的校準原理研制而成，通過設計不同量程的電容薄膜規(guī)組成標準規(guī)組的方法，解決了單一標準規(guī)在滿量程范圍內精度偏差的問題。裝置具有操作簡易，自動化程度高，可批量校準等特點，裝置校準范圍既覆蓋了航天領域主要真空校準需求，又具有研制成本低，綜合性價比高的優(yōu)點。

　　1、校準裝置設計組成

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　　2、多功能真空校準裝置的校準原理方法

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　　3、多功能真空校準裝置的主要性能指標

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　　4、結束語

　　經實際測試，本裝置各項性能參數優(yōu)于設計指標，其中高真空校準下游室的極限真空度比設計指標提高了一個數量級，真空校準范圍也有一定的拓寬，選用的無油多級真空抽氣系統(tǒng)解決了裝置長時間工作可凝物污染的問題。多功能真空校準裝置因其簡便易于操作，可大批量校準等特點，在提高航天設備可靠性和產品質量方面起到了很好的促進作用，為我國國防科學技術的發(fā)展提供了基礎設施保障。