真空系統(tǒng)
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真空系統(tǒng)的抽氣方程
對于一個真空系統(tǒng),抽氣方程中的放氣Qf、滲氣Qs、漏氣QL和蒸氣Qz的氣流量都是微小的。因此抽氣初期真空系統(tǒng)的氣體負荷主要是容器內(nèi)原有的空間大氣。隨著容器中壓強的降低,原有的大氣迅速減少,當抽空至1~10-1Pa時
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流導(dǎo)和流導(dǎo)幾率的概念和計算公式
流導(dǎo)是指在單位壓差下,流經(jīng)管路元件氣流量的大小。流導(dǎo)幾率也稱為傳輸幾率,其物理意義是氣體分子從元件的入口入射進入元件能從管路元件的出口逸出的概率。
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氣體流動狀態(tài)的判別方法
在真空系統(tǒng)管路中的氣流有五種流動狀態(tài):湍流(又稱紊流、渦流);湍-粘滯流;粘滯流(又稱層流、粘性流、泊稷葉流);粘滯-分子流;分子流(又稱自由分子流、克努森流)。湍-粘滯流是湍流和粘滯流之間的過渡狀態(tài)。粘滯-分
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真空系統(tǒng)最重要的性能參數(shù)計算方程
真空系統(tǒng)最重要的性能參數(shù)是極限真空度和有效抽速。極限真空度是指在沒有外加負荷的情況下,經(jīng)過足夠長時間的抽氣后,系統(tǒng)所能達到的最低壓力。有效抽速取決于真空泵的抽速和流導(dǎo)。
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