①油增压泵(主泵)串联机械泵(前级泵)的真空系统。该系统的工作压强范围为1.33～1.33×10^-1pa。其优点是抽气能力大，系统简单，振动小，工作稳定可靠，维修方便，成本低。缺点是预抽时间长(同罗茨泵系统比较)，因为在1.33～133.3Pa压强范围内，油增压泵和机械泵抽速部下降；工作中需要较贵重的增压泵油。

    ②罗茨泵串联机械泵的真空系统。该系统的工作压强范围为1.33～1333Pa。不但抽气能力大，而且起动快。预抽气时间短，因为在1.33～101325Pa压强范围内。机械泵和罗茨泵最大抽速能很好连接上，缺点是工作时有振动，且噪音大；工作中随时间增加，罗茨泵性能下降。图14就是这种系统，它是用在真空离子渗碳和真空淬火热处理工艺中的系统。这里除罗茨泵系统之处，又并联一个小机械囊。它在离子渗碳时开动，并同时停止罗茨泵系统，可节省能量。

    ③罗茨泵串联小型罗茨泵(中间泵)，再串联机械泵的真空系统，其工作压强范围为O.133～1333Pa。不但工作压强范围大，而且工作真空度高，同时具备了罗茨泵系统的特点。中间串联的小型罗茨泵减小了主罗茨泵对前级机械泵的依赖性，因为压缩比减小，加宽了工作压强范围和提高了极限真空度。

图：典型的住真空系统

    ④以油增压泵和罗茨泵为主泵，两个泵出口串联罗茨泵．再串联机械泵的真空系统，其工作压强范围为O.133～1333Pa。该系统具有罗茨泵系统和油增压泵系统的双重特点，如图15所示，被称为真空自耗炉的典型系统，对于熔炼钛合金具有突出优点。

    ⑤除了上述几种之外，还有油增压泵串联罗茨泵，再串联机械泵的真空系统。还有罗茨泵串联水环泵的真空系统，它适合于排出灰尘较多的应用设备上。