磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的特點(diǎn)
1、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)與壓縮式真空計(jì)同屬于標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì),但其量程較寬(10-1~10-5 Pa)。用它做互校傳遞標(biāo)準(zhǔn)計(jì),累積誤差小、可靠性和重復(fù)性好。
2、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)是無(wú)源器件,其規(guī)管內(nèi)部沒(méi)有高速電子和離子,沒(méi)有熱絲,不存在熱及輻射效應(yīng)。
3、轉(zhuǎn)子規(guī)管體積小,吸氣和放氣現(xiàn)象完全可以忽略,不會(huì)影響被測(cè)空間的氣體成分和壓力,特別適用于不允許規(guī)管與氣相彼此作用的場(chǎng)合。
4、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)每測(cè)量一個(gè)點(diǎn)必須間隔半分鐘,所以只能用于壓力變化緩慢的真空室或密閉空間。
5、測(cè)量精度主要取決于轉(zhuǎn)速ω的測(cè)量精度和溫度T的恒定,因此測(cè)量時(shí)務(wù)必維持T恒定和采用較高精度的測(cè)速技術(shù)及儀表。