靜態膨脹法真空標準裝置期間核查方法
2009-05-29 趙光平 蘭州物理研究所，真空低溫技術與物理國家級重點實驗室
靜態膨脹法真空標準裝置是國防真空計量最高標準，采用傳遞比較法對其進行期間核查。
傳遞比較法是用高一級測量標準和被核查的標準校準（檢定）同一臺穩定性好的傳遞標準或測量器具，其值分別是y0 和y，應滿足式（1）
式中y 為被核查標準的校準結果；y0 為測量標準的校準結果；U 為被核查標準的擴展不確定度；uc 為被核查標準的合成標準不確定度。
高一級測量標準選用高精密活塞壓力計標準裝置，其測量范圍為（1×102～1×104）Pa，擴展不確定度U 為0.20%～0.01%（k=2）；被核查標準靜態膨脹法真空標準裝置測量范圍為（1×10-4～1×105）Pa，擴展不確定度U為0.8%（k=2）。
電容薄膜真空計具有優良的穩定性和重復性，常被用作真空標準之間的傳遞標準。這里傳遞標準選用美國MKS 公司生產的FS1.33 kPa 電容薄膜真空計，其測量范圍為（1～1×103）Pa。在（1×102～1×103）Pa 范圍，分別用高精密活塞壓力計標準裝置和靜態膨脹法真空標準裝置對FS1.33 kPa電容薄膜真空計校準，校準數據見表1 和表2。
表1 高精密活塞壓力計標準裝置校準數據
表2 靜態膨脹法真空標準裝置校準數據
注：修正因子＝標準值÷被校值。
表1 中，用高精密活塞壓力計標準裝置校準電容薄膜真空計的平均修正因子為1.002 1；表2 中，用靜態膨脹法真空標準裝置校準的修正因子為0.998 2。根據式（1）計算二者的偏差為0.39%，小于靜態膨脹法真空標準裝置的擴展不確定度0.80%，該標準裝置技術狀態正常。
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