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熱陰極電離規ESD效應研究
電子激勵脫附(Electron stimulated desorption,ESD)效應與軟X 線效應、陰極出氣效應一同被認為是影響熱陰極電離規極高真空測量下限的主要原因。
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彈性元件真空表的結構與測量原理
利用彈性元件在壓差作用下產生彈性變形的原理制成的真空測量儀表稱為彈性元件真空表。在結構和外形上與工業用壓力表類似,一般用于粗真空(102~105Pa)的測量。根據變形彈性元件分類,這類真空計通常有彈簧管式、膜盒
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