質(zhì)譜測(cè)量
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傳感芯片真空封裝的質(zhì)譜檢測(cè)
通過(guò)對(duì)傳感芯片封裝前放氣性質(zhì)和封裝后密封性能的質(zhì)譜分析,了解樣件的放氣情況以及封裝工藝和封裝結(jié)構(gòu)性能。
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氕氘比CH/CD的四極質(zhì)譜計(jì)測(cè)量
采用ELITESXP-50型低分辨率四極質(zhì)譜計(jì)(QMS) 在不制備HD標(biāo)樣的條件下精確測(cè)量并計(jì)算混合氣體中的氕氘分壓比CH/CD的方法。
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四極桿質(zhì)量分析器的研究現(xiàn)狀及進(jìn)展
四極桿質(zhì)譜計(jì)已成為一種技術(shù)相當(dāng)成熟的商用儀器,其相關(guān)研究近年來(lái)呈現(xiàn)出上升趨勢(shì),體積小型化,分析對(duì)象不斷擴(kuò)大,儀器性能實(shí)現(xiàn)高分辨、大質(zhì)量范圍、快速分析以及成本低價(jià)化將是四極桿質(zhì)譜計(jì)相關(guān)研究的主要趨勢(shì)。
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四極質(zhì)譜計(jì)靈敏度與離子源參數(shù)關(guān)系的實(shí)驗(yàn)研究
對(duì)質(zhì)譜計(jì)離子源參數(shù)進(jìn)行調(diào)節(jié),可以優(yōu)化質(zhì)譜計(jì)的靈敏度并使之達(dá)到最大值
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四極質(zhì)譜計(jì)在高壓力下的測(cè)量方法
通過(guò)對(duì)影響四極質(zhì)譜計(jì)測(cè)量上限的因素進(jìn)行分析,得到高壓力下的分壓力計(jì)算方法,并通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了該方法的可行性,得出的結(jié)論對(duì)高壓力下四極質(zhì)譜計(jì)的應(yīng)用具有一定的參考價(jià)值。
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恒壓式氣體微流量計(jì)的測(cè)量誤差分析
對(duì)于恒壓式氣體微流量計(jì), 測(cè)量過(guò)程中變?nèi)菔业臏囟茸兓蛪毫ψ兓瘜?duì)流量測(cè)量誤差的貢獻(xiàn)比較大。
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分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置的不確定度分析
介紹了分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)、工作原理及分壓力測(cè)量方法,對(duì)分壓力測(cè)量和靈敏度校準(zhǔn)的不確定度進(jìn)行了分析。
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分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置的性能測(cè)試及校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)
介紹了分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置的性能指標(biāo), 并用分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)了一臺(tái)四極質(zhì)譜計(jì), 給出了靈敏度、 圖樣系數(shù)、 線性、質(zhì)量刻度、分辨本領(lǐng)等校準(zhǔn)結(jié)果,還研究了氣體之間的相互影響。
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分壓力質(zhì)譜計(jì)的校準(zhǔn)
分壓力質(zhì)譜計(jì)的校準(zhǔn)是一種沒(méi)有完全解決的難題。本文介紹了校準(zhǔn)分壓力質(zhì)譜計(jì)時(shí)應(yīng)注意的問(wèn)題并介紹了最新的四種分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)方法及相應(yīng)的校準(zhǔn)裝置。
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磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)在分壓力測(cè)量中的應(yīng)用
分析了磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)的測(cè)量特點(diǎn),指出在分子流范圍內(nèi),不同氣體成分引起的磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)轉(zhuǎn)速衰減率具有可線性迭加性。
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飛行時(shí)間質(zhì)譜儀射頻四極桿驅(qū)動(dòng)器的研制
針對(duì)自制垂直引入式飛行時(shí)間質(zhì)譜儀的需要,運(yùn)用直接數(shù)字頻率合成技術(shù),研制了射頻四極桿的高壓射頻驅(qū)動(dòng)電路裝置。
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四極質(zhì)譜用于內(nèi)燃機(jī)排氣成分檢測(cè)的研究
分析了四極質(zhì)譜的基本原理, 介紹了采用四極質(zhì)譜動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)?nèi)燃機(jī)排氣成分的方法及實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)檢測(cè)的系統(tǒng)方案和動(dòng)態(tài)測(cè)試結(jié)果。采用上述方法對(duì)6108 柴油機(jī)進(jìn)行了排氣成分取樣分析, 給出了發(fā)動(dòng)機(jī)排放測(cè)試結(jié)果。
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用四極質(zhì)譜計(jì)定性分析殘氣成分的變化
四極質(zhì)譜計(jì)是一種很有用的殘氣分析工具, 一般情況下它只能分析殘氣成分, 本文給出通過(guò)四極質(zhì)譜譜圖對(duì)比定性分析殘氣成分的實(shí)例。
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分壓強(qiáng)質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置測(cè)量不確定度評(píng)估
為了評(píng)估分壓強(qiáng)質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置的不確定度,對(duì)作為參考標(biāo)準(zhǔn)的磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)進(jìn)行了大量實(shí)驗(yàn),包括磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性、切向動(dòng)量傳遞系數(shù)隨氣體種類和溫度的變化等。
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四極質(zhì)譜計(jì)的計(jì)量特性研究
四極質(zhì)譜計(jì)是一種分壓力測(cè)量?jī)x器,可廣泛應(yīng)用于殘余氣體分析和真空流量的測(cè)量,其計(jì)量特性需要深入研究。用N2、Ar、He 3種氣體作為實(shí)驗(yàn)氣體,對(duì)四臺(tái)應(yīng)用范圍較廣、具有一定代表性的商用四極質(zhì)譜計(jì)的線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性
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分壓強(qiáng)質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置的研制
分壓強(qiáng)質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置用于質(zhì)譜計(jì)的校準(zhǔn)。本文介紹了分壓強(qiáng)質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)、工作原理及分壓強(qiáng)測(cè)量方法,并給出了分壓強(qiáng)測(cè)量的不確定度分析。
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四極質(zhì)譜計(jì)靈敏度與離子源參數(shù)關(guān)系研究
四極質(zhì)譜計(jì)靈敏度與離子源參數(shù)關(guān)系的實(shí)驗(yàn)研究通過(guò)改變QMS422型四極質(zhì)譜計(jì)離子源的發(fā)射電流、陰極電壓和聚焦電壓等參數(shù)值,測(cè)量了質(zhì)譜計(jì)靈敏度的相應(yīng)變化,給出并分析了實(shí)驗(yàn)結(jié)果。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,對(duì)質(zhì)譜計(jì)離子源參數(shù)進(jìn)
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