真空阀门的定义和作用
真空阀门是在真空系统中用来隔离(切断)气流、调节气流流量、分配气流的真空元件。种类繁多的真空装置(亦称真空工程设备)都离不开真空系统。真空阀门不论在简单或复杂的真空系统中都占有重要的地位。
通常在真空系统设计时,要根据真空装置的要求和真空系统的特点来选择不同类型的真空阀门。例如,真空放气阀,是用来给真空系统放入大气用的。真空装置完成真空作业后,若要更换工件或取出样品,必须将大气放入真空室,使真空室大门两侧没有压差,才能打开大门进行工件更换。而针阀是向真空系统中充气,并能调节气体流量的真空阀门。
真空阀门常用于真空泵抽速测量、真空镀膜、离子束刻蚀、受控热核反应装置等真空系统上,提供精确调节的气体流量,用以获得稳定的工艺要求的真空度;高真空挡板阀、高真空插板阀,常用于主抽气泵的进气口上,用来隔离真空泵,使之不暴露于大气之中。高真空蝶阀可装于真空室,真空管道与真空泵之间,用以接通和隔离(截止)气流。阀门设计不应当漏气、发生机械、电气故障等。
需要纠正一下国内电站阀门存在的错误叫法,在电站阀门中,通常将填料部分带水封装置的阀门前面冠以“真空”,如真空闸阀、真空截止阀等。而事实上,这些阀门的介质压力都很高,有的阀门压力高达10MPa,这是一种错误的叫法,应当予以纠正。