一、外壓式不銹鋼波紋管真空截止閥

　　外壓式是指波紋管內(nèi)腔壓力低于外腔壓力的閥門(mén)結(jié)構(gòu)類(lèi)型。這類(lèi)閥門(mén)根據(jù)波紋管組件的裝配情況可分為兩種。

　　1、波紋管組件不可拆卸的真空截止閥。波紋管上端與閥針相接，下端與閥體相接。由于真空度低，工作溫度也不高，通常可采用滾焊方式連接。閥門(mén)的啟閉是借助閥蓋與閥針的螺紋螺距差來(lái)完成的。

　　為了防止波紋管扭曲，在閥針與閥蓋之間裝有防扭螺釘，這種結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)在于省去了閥體與閥蓋之間的一道密封，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，但是波紋管組件的不可拆卸也給閥門(mén)的現(xiàn)場(chǎng)維修造成一定的困難，當(dāng)波紋管損壞時(shí)，常常造成整個(gè)閥門(mén)報(bào)廢。

　　2、波紋管組件可拆卸真空截止閥。它與之前一種結(jié)構(gòu)相比，主要區(qū)別在閥體與閥蓋之間增加了一個(gè)閥蓋接頭，因而波紋管下端可以直接滾焊在接頭上，不再與閥體相焊接。當(dāng)波紋管或密封面損壞時(shí)，就可進(jìn)行單件維修而不需要報(bào)廢整個(gè)閥門(mén)。但是，增加閥蓋接頭也帶來(lái)另一方面的問(wèn)題，即產(chǎn)生了閥蓋接頭與閥體之間的密封問(wèn)題。

　　上述兩種真空截止閥由于受到波紋管組件結(jié)構(gòu)性能的限制，都不能使用于高真空系列。實(shí)際上，如果波紋管組件設(shè)計(jì)得當(dāng)，閥門(mén)的使用范圍就可擴(kuò)大。國(guó)內(nèi)外許多閥門(mén)廠家都在向這一方向努力，取得很好的研究成果并能滿(mǎn)足高真空的要求。

　　該組件中的波紋管上、下端都與上、下接頭相連，并用氬弧焊焊接。這既可提高閥門(mén)的使用溫度，也可提高閥的氣密性。該組件的特色在于它的下接頭，它是一只圓環(huán)，能與外側(cè)的壓環(huán)相焊，組成多種用途的體蓋密封結(jié)構(gòu)。

二、內(nèi)壓式不銹鋼波紋管真空截止閥

　　1、內(nèi)壓式超高真空截止閥

　　以1Cr18Ni9Ti為主要材質(zhì)，以金（Au）作為法蘭連接處的密封襯墊，主要用于1×10-10Torr（1Torr=133.322Pa）的超高真空系統(tǒng)中，并具有良好的耐腐蝕性能。閥門(mén)的總漏氣速率小于10-10Torr·L/s，關(guān)閉后，密封面任何一邊暴露于大氣時(shí)，靜止漏率均可小于1×10-10Torr·L/s，在450℃的高溫烘烤溫度下，漏率仍不超過(guò)這個(gè)指標(biāo)。

　　該閥的閥桿波紋管組件如圖1所示，波紋管4兩端分別與內(nèi)、外襯環(huán)6和3采用氬弧焊焊接，上端的外襯環(huán)3與閥蓋1焊接，下端的內(nèi)襯環(huán)6與閥桿2焊接，波紋管的外表面暴露于真空系統(tǒng)，內(nèi)表面與大氣相通，因而，波紋管組件承受內(nèi)壓作用。組件制成后，應(yīng)按對(duì)閥體的同樣要求，通過(guò)氦氣探漏。

圖1 內(nèi)壓式超高真空截止閥波紋管組件

1—閥蓋；2—閥桿；3—外襯環(huán)；4—波紋管； 5—銷(xiāo)釘；6—內(nèi)襯環(huán)

　　該閥的閥瓣也以金制成，閥瓣與閥座采用刀口密封，并取不同的硬度值，因而，閥門(mén)不僅具有良好的氣密性，還可有效地防止冷焊現(xiàn)象的發(fā)生。

　　2、波紋管-填料雙密封式不銹鋼真空截止閥

　　波紋管是一種薄壁元件，單層壁厚通常不超過(guò)0.25mm，最薄的只有0.10mm，是整個(gè)閥門(mén)中最為薄弱的環(huán)節(jié)。波紋管密封雖然具有很好的密封性能，但是波紋管在成形過(guò)程中的壁厚不均勻性、蝕點(diǎn)以及在閥門(mén)制造過(guò)程中的微小焊接缺陷等一系列因素都有可能在運(yùn)行過(guò)程中使之產(chǎn)生破裂事故。

　　因此，在危險(xiǎn)性很大的應(yīng)用場(chǎng)合，往往采用波紋管-填料雙密封結(jié)構(gòu)，即用波紋管作為第一道密封，填料作為第二道密封，以進(jìn)一步提高閥門(mén)密封的可靠程度。目前，這種結(jié)構(gòu)在核工業(yè)、化學(xué)工業(yè)等部門(mén)中已經(jīng)被廣泛采用。這種閥在結(jié)構(gòu)上的另一個(gè)特點(diǎn)是將閥桿傳動(dòng)螺紋置于填料密封的保護(hù)下，從而有效地改善了傳動(dòng)螺紋的工作條件，并給更換填料提供了方便。